真 空 鍍 膜 簡 介
1.真空鍍膜簡介
1.1.Parylene真空鍍膜技術(CVD.Chemical Vapor Deposition),早期起始於美國航太工業、通訊衛星及國防軍事用途,而後逐漸轉移推廣至民間商業用途,至今約已40年。
1.2.及至今日,各種產品或零件已趨向精密微小化,因此,一般的表面被覆處理方式,如:Epoxy、Urethane、Silicone、ED等,已 無法符合此一嚴格要求。
2.真空鍍膜原理
Parylene真空鍍膜技術,是將原料置於真空中(10¯;³; Torr),直接汽化並裂解成奈米(Nano)分子流,再進入室溫下的鍍膜 室中,以氣相沈澱的方式,均勻滲入被鍍物體之內部隙縫與表面針孔,並逐漸聚合成完整、輕薄、均勻而又高密度之微米(Micro)膜層。因此,其良好的被覆特性與功能,完全不同且優異於一般沈浸式或噴霧式的表面處理方式。
3.真空鍍膜流程
粉末狀之鍍膜材料(Dimer)在經過汽化(150℃)與裂解(650℃)過程後,進入鍍膜室中,在常溫下進行氣相沉澱,形成Polymer膜。
Parylene Coating 的優點:
1.良好的披覆特性遠優於Epoxy、Urethane、Silicone等塗裝方式,高絕緣性,且能防潮、防銹。
2.良好的化學特性,在常溫下能有效抗酸或鹼性物質的腐蝕問題。
3.良好的機械性,有助於提昇微型電路零件的隱固性。
4.優異的熱特性可適應於200℃至 -200℃的溫度範圍。
5.無針孔膜層 ,膜厚均勻一致。
6.極薄的膜層,並可控制膜層厚度達客户需求。
7.材料無色與高透明度。
8.抑菌、防腐、防風化。
9.乾式潤滑。